| نام محصول: | سیستم اندازه گیری تداخل سنج لیزری SJ6000 | محدوده اندازه گیری خطی: | 0 تا 80 متر |
|---|---|---|---|
| قطعنامه: | 1 نانومتر | دقت فرکانس لیزر: | 0.05ppm |
| دمای عملیاتی:: | (0-40) ℃ | نرخ ضبط دینامیک:: | 50 کیلوهرتز |
| برجسته کردن: | سیستم اندازه گیری تداخل سنج لیزری 0.05ppm,سیستم اندازه گیری تداخل سنج لیزری 1nm,تداخل سنج اندازه گیری جابجایی 1nm |
||
مداخله سنجی لیزر به عنوان یک روش اندازه گیری با دقت بالا و حساسیت بالا که از طول موج نور به عنوان یک معیار استفاده می کند، به طور گسترده ای در تولید پیشرفته استفاده می شود.سیستم مداخلات لیزری SJ6000 شامل یک ژنراتور لیزری هلیوم-نیون با فرکانس بالا از یک تامین کننده ایالات متحده است، ماژول های جبران محیط زیست با دقت بالا، پردازش پیشرفته سیگنال های تداخل لیزر، و یک سیستم کنترل کامپیوتری با عملکرد بالا.
با استفاده از فن آوری ثبات فرکانس حرارتی با حالت دو طولی لیزر و پارامترهای هندسی طراحی مسیر نوری تداخل، SJ6000 ارائه می دهد پایدار طولانی مدت،دقت بالا (0.05ppm) خروجی لیزر در حدود 6 دقیقه، با عملکرد ضد تداخل قدرتمند. با ماژول های مختلف پریزمی، خطی، زاویه، راست بودن، صاف بودن، عمودی،و ویژگی های پویا را تحلیل می کند.
| پارامترهای سیستم | سنسورهای محیطی |
|---|---|
|
روش اندازه گیری:فرکانس واحد دقت فرکانس لیزر:0.05 ppm نرخ جذب پویا:50kHz زمان گرم کردن:6 دقيقه دمای کار:0 تا 40 درجه سانتیگراد محیط زیست:0-40°C، رطوبت 0-95% دمای نگهداری:-20 تا 70 درجه سانتیگراد |
دمای جو:±0.1°C (0-40°C) ، وضوح 0.01°C دمای مواد:±0.1°C (0-40°C) ، وضوح 0.01°C رطوبت هوا:±5٪ (0 تا 95٪) فشار جوی:±0.1kPa (65-115kPa) |
| اندازه گیری خطی | اندازه گیری زاویه |
|---|---|
|
محدوده اندازه گیری:0-80 متر دقت اندازه گیری:0.5ppm (0-40°C) قطعنامه:1nm حداکثر سرعت:4 متر در ثانیه |
محدوده محوری:0 تا 15 متر محدوده اندازه گیری:±10° دقت:± ((0.02%R+0.1+0.24M) " قطعنامه:0.1′′ R = مقدار نشان دهنده (′′) ، M = طول اندازه گیری شده (m)
|
| اندازه گیری سطح | |
|---|---|
| محدوده محوری:0 تا 15 متر | محدوده اندازه گیری:±1.5mm |
| دقت:± ((0.2%R+0.02M2) μm | قطعنامه:0.1μm |
| اندازه بستر:قابل تنظیم 180 میلی متر، قابل تنظیم 360 میلی متر | |
|
R = مقدار نشان دهنده (μm) ، M = طول اندازه گیری شده (m)
|
|
| اندازه گیری راست | راست بودن کوتاه | راست بودن بلند |
|---|---|---|
| محدوده محور | 0.1-4m | ۱ تا ۲۰ متری |
| محدوده اندازه گیری | ±3.0mm | ±3.0mm |
| دقت | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| قطعنامه | 0.01μm | 0.01μm |
|
R = مقدار نشان دهنده (μm) ، M = طول اندازه گیری شده (m)
|
||
| اندازه گیری عمودی | راست بودن کوتاه | راست بودن بلند |
|---|---|---|
| محدوده محور | 0.1-3 متر | ۱ تا ۱۵ متری |
| محدوده اندازه گیری | ±3.0mm | ±3.0mm |
| دقت | ± ((2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | ± ((2.5+2.5%R+0.08M) μm/m |
| قطعنامه | 0.01μm | 0.01μm |
|
R = مقدار نشان دهنده (μm) ، M = طول اندازه گیری شده (m)
|
||