سیستم اندازه گیری تداخل سنج لیزری 0.05ppm با وضوح 1nm

1. روش اندازه گیری: تک فرکانس

1. سنسور دمای اتمسفر: ± 0.1 ℃ (0-40) ℃، وضوح: 0.01 ℃

2. دقت فرکانس لیزر: 0.05ppm

2. سنسور دمای مواد: ± 0.1 ℃ (0-40) ℃، وضوح: 0.01 ℃

3. نرخ ضبط دینامیک: 50 کیلوهرتز

3. سنسور رطوبت اتمسفر: ± 5٪ (0-95٪)

4. زمان گرم کردن: حدود 6 دقیقه

4. سنسور فشار اتمسفر: ± 0.1 کیلو پاسکال (65 تا 115) کیلو پاسکال

5. دمای عملیاتی: (0-40)℃

6. دمای محیط: (0-40) ℃، رطوبت: 0-95٪

7. دمای ذخیره سازی: -20℃-70℃

1. محدوده اندازه گیری: (0-80)m

1. محدوده محوری: (0-15)m

2. دقت اندازه گیری: 0.5ppm (0-40)℃

2. محدوده اندازه گیری: ± 10 درجه

3. وضوح اندازه گیری: 1nm

3. دقت: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R مقدار را نشان می‌دهد، واحد: ″؛ M طول بر حسب متر اندازه‌گیری می‌شود)

4. حداکثر سرعت اندازه گیری: 4m/s

4. وضوح اندازه گیری: 0.1 اینچ

1. محدوده محوری: (0-15) متر

2. محدوده اندازه گیری صافی: ± 1.5 میلی متر

3. دقت: ±(0.2%R+0.02M2) میکرومتر (R نشان دهنده مقدار در میکرومتر است؛ M طول بر حسب متر اندازه گیری می شود)

4. اندازه بستر: 180 میلی متر قابل تنظیم، 360 میلی متر قابل تنظیم

5. وضوح اندازه گیری: 0.1μm

صراط کوتاه

(0.1-4) متر

± 3.0 میلی متر

±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm

0.01 میکرومتر

صراط طولانی

(1-20) متر

± 3.0 میلی متر

±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm

0.01 میکرومتر

توجه: R مقدار بر حسب میکرومتر را نشان می دهد.M طول بر حسب متر اندازه گیری می شود

صراط کوتاه

(0.1-3) متر

± 3.0 میلی متر

±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m

0.01 میکرومتر

صراط طولانی

(1-15) متر

± 3.0 میلی متر

±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

0.01 میکرومتر

توجه: R مقدار بر حسب میکرومتر را نشان می دهد.M طول بر حسب متر اندازه گیری می شود