توسعه ماشین اندازه گیری مختصات سه بعدی (CMM) در اواسط قرن بیستم با معرفی CMM های دستی آغاز شد.

اين ماشين هاي دستي براي اندازه گيري اجسام فزيکي و دستي ثبت مختصات نقطه ها از سُند استفاده مي کردندCMM ها به دستگاه های کمکی رایانه ای تبدیل شدند که فرآیند اندازه گیری را خودکار می کنند، افزایش دقت و کارایی.

امروزه، CMM های سه بعدی مدرن با ویژگی های پیشرفته نرم افزاری و سخت افزاری مانند سیستم های سنجه لمسی، اسکنرهای لیزری و نرم افزار برای تجزیه و تحلیل داده ها، مدل سازی و مهندسی معکوس مجهز هستند.CMM های سه بعدی به طور گسترده ای در صنایع مختلف مانند هوافضا استفاده می شوند، خودرو و تولید برای کنترل کیفیت، بازرسی و فرآیندهای تولید.